Микросборки тонкопленочные. Типовые технологические процессы изготовления прецизионных фотошаблонов

s?
,7
Z^4/ ‘ /ге 6 у

&Є7-£{ - J ; . \

. V ‘ 4 4 ' ■h

4 *» X •
л. »
'Ч;
r Jit

/

J
^отраслевой, стандарт A

її '•■• ‘' ' ‘ < -fc if - r »r і • •t'W. - . . /:

‘ AH \ ■“ ■ ,

/,;1Й 4
..A-»! )! ’• .

■ \Ґг/ ' ':/’•■■
г - I4>o4v

J.. 4<f 4 / . ' 4 l4 .ifj "'^; ' ■ if

* •/' ■

V- ■' :4>:
■г ■

>: Л

■

I, -tlr-
' r t. -^..-'

■Mh *. <*4 ■ ,4'

KjJ \ 11' ■ ■ '■ "■

J .■■'*
■ tr ■■

L

4j'‘<r

■Л'.,
44
І’
.4
X, МИКРООМ,™ ‘; ТОЖШЇЕЇЇО'ШЬШ ,''1’ jhfr: ;!./

> ' ' ПРОЦЕСС^ і /і.

Ы:Й ' шопи Шоков

Л■/»<<i«f <• ’> Ъ Л'■ tr'

>,?І4ШІ'92~Іі'07т6О' ‘ Л

-!«»?•' •.•' ■. і г -г Л
7

’U’
v-f,
L /4

■I'
> A
,t ■•’' г
4*.

f llr
iH*
<i
Ьі
*.'• ■< : -Г. .V

*■*. її K-t/M'
/С(

Iі
* $'.

I'/' 'Л і ' 'J »?.,

'і
st 4 /.'У
1

?!>

.f -’<!

■ It:
Гуfж4.- .У.’?. HЛйг-Х;':'' -

f А -і ’ vrWr

.вЙЙЦКаяы/Л'

' A Ы : A?/■(.■, ■ U !■ ,пЛіі . .і; ■ .-I
'SsP^e

і . .

■■ і. ,

•і?
..V
rf

lift'
rMj
і

■*6
•л

-l. ЬллМй?/• ■ о^Ье*х>й»ЛвП тАжЛЇі^ІлімЯЯ. і •V'

_ fi І* . »І‘‘| ,f і if
■А /И
j»j f j. ’ .
M'r л .rJ

£WWt

игр.мНІ>й»>І^^ш.*ч^йніі»и»»"«4«
'V "(Ї1/Ґ ■■

r">f‘ ’I
1■ ;■. 'L.u
,.rr-/
‘.'І
'Г

'Iі

Лі

і'ї '

■M*

«ПЛИНИИ*»йц<Н***|Є*і*і■ '
УДК, б^/. 382- 002
*-. 'I г
'І
^+*»-T»-^**^**b****i^
1,1t > >1' ' ■'■’ ’'fl ? *■ ’ i|- r ■■ !=l*"
: {<1■ :-l-P
W’i Ж'’ f.<
"./j ■ . ■’
'Ї
.. Л
' .ГОТрАСЛЕЙрй;СТАНДАРТ .
'■Jr

МИКРОСБОРКИ тaffiOTIШOЧHUE•:\•;’<^’■1f,|■• ' ?’ OCT/9?-I707”&) .■' ТИПОВЫЕ ТЄХНІМОІИЧЕСКИЕ ПРОЦЕС®‘ ' ’.’і f 1, 1.: .

изготовления прецизионных' '• \

ФОТОШАБЛОНОВ- ;. . : ‘ 1; '' *,,'

і‘ ■ ■ -; , " ■ > .. . ■' ' • , ,1 *
>. 'ГІ'іЬ,-..

'I' ■IHi.-J—..-..^... и;.*'
5-?.

:. !■
•■>
і : <HY *:<'
Взамен. 0CT t.92;^697r75i

:r

"" * 'Г' ■''' " г';^">тгтгтттГ ■ «f---Т-Т’' uj гад ил,. j Письмом, Министерства ,r- ; v/:’;', 1 ■

от ІЗ января і9?2І-ДИПйІ5 f . срок введения установлен ’’ /. : ' с_і_иапя—I9&I: г... J..', .»■>.,

? - ■'

.4 ■ ; , . , г'/,Ти? -■ ■ • Л

■<• Настоящий стандарт распространяется На прецизиоинне^ фотошаблоны> применяемые дая изготовления тонкопленочных микросборок, выполненных на подложках ИЗ ^ИТАЛЛАа. ванного алюмичм я.

• . -ІІ , ■ г * * *

Стандарт устанавливает типовые, 'технологические процессы изготов­

Перепечатка воспрещена ‘ ■ Iі’ .

Издание официальное гр л£в 5575 if-II. 83

ления прецизионный эмульсионных ж металлизированных фотошаблонов. 1

ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ

Общие технические требования - по ОСТ 92-1698-60 .

Фотошаблоны, изготовленные по типовому технологическое процессу, должны отвечать требованиям настоящего^стандарта и техни­ческой документации на них. ■ ’ ' . „ '

Ї.З. Материалы, используемые при изготовлении-оригиналов и фото- шаблонов, указанные в настоящем стандарте, должны соответствовать стандартам илй техническим условиям на них. , ", -

„ Эмалевое покрытие На основаниях оригиналов не долдао иметь *

' Пузырьков, царапин и инородных яклхменни» видимых, невооруженным, гла-

30М<■ \ґ Z