ГОСТ 5.2105-73
Download document
.docx format · available to registered users
Издание официальное г? а 1 .. г •.
?
$ Г" ~ » К Ч . - *•
2 4*^ < •'< '*• •• ♦
Москва
Издание официальное
(с) Издательство стандартов, 1973
1.1. Основные параметры и энергетические данные микроскопа
должны соответствовать указанным ниже.
1. Диапазон измерения толщины пленок для первого периода, А . . . . . . .
2. Цена деления отсчетных лимбов тубусов анализатора и поляризатора, град ....
3. Величина отсчета по нониусу анализатора и поляризатора, мин
4. Погрешность показаний нониуса анализатора и поляризатора, мин
5. Пределы перемещения столика приборного в двух взаимно перпендикулярных направлениях, мм
6. Диапазон изменения угла падения луча, град
7. Цена деления основного угломера, град .
8. Величина отсчета по нониусу основного угломера, мин
9. Погрешность показаний нониуса основного угломера, мин
10. Минимальные размеры контролируемого окна, мкм
11. Индикация минимума отраженного луча
12. Регистрация эллипсометрического изображения
13. Точность определения моментов погасания по углу поворота лимбов при углах падения луча ф—45° и ф=70°, мин, не хуже
14. Масса микроскопа, кг
15. Масса блока питания, кг ..... .
16. Максимальная электрическая мощность, потребляемая микроскопом не более, В * А
17. Питание электрооборудования микроскопа от сети переменного тока:
напряжение, В
частота, Гц
18. Длина волны используемого монохроматического источника света, А ..... .
1.2. Общий вид и габаритные размеры микроскопа должны соответствовать указанным на чертеже.
2.1. Микроскоп должен изготовляться в соответствии с требованиями настоящего стандарта по технической документации, утвержденной в установленном порядке.
2.2. Применяемые при изготовлении материалы и комплектующие изделия должны соответствовать действующим стандартам и технической документации, утвержденной в установленном порядке.
2.3. Поверхности деталей, подвергающиеся механической обработке, не должны иметь забоин, сколов, заусенцев и вмятин.
2.4. Сопротивление электрической изоляции входных силовых цепей должно быть не менее 0,5 МОм.
2.5. Электрическая изоляция входных силовых цепей между собой, а также между входными цепями и корпусом оборудования должна выдерживать без пробоя испытательное напряжение 1000 В переменного тока частотой 50 Гц в течение 1 мин.
2.6. Тубус поляризатора с оптическим квантовым генератором должен обеспечивать настройку равномерного освещения поля диафрагмы визуального тубуса.
2.7. Фиксация двух положений зеркала (при визуальном наблюдении и фотографировании, а также при фотоэлектрическом способе регистрации момента погасания) должна быть четкой и надежной.
2.8. Зеркало должно перемещаться из первого положения во второе плавно, симметрично относительно центра поля. После установки изображения диафрагмы в требуемое положение самопроизвольное смещение зеркала не допускается.
2.9. Фотодиод должен легко перемещаться в корпусе индикатора. Фотокамера должна легко наворачиваться на визуальный тубус.
2.10. При фокусировании на объект изображение объекта должно быть в центре кадра фотоаппарата. Допустимое смещение изображения относительно центра кадра — не более 2,0 мм.
2.11. Вращение приборного столика должно быть плавным (без заеданий).
2.12. Мертвый ход приборного столика не должен превышать 0,010 мм.
2.13. Все надписи, штрихи шкал, оцифровка и другие обозначения должны быть отчетливыми, ровными и окрашенными.
2.14. Дефекты на поверхности линз (осыпки, пузыри, царапины, выколотки и др.), вызывающие появление темных пятен в поле зрения при рабочем положении, не допускаются.
2.15. На зеркальных покрытиях оптических деталей не допускается наличие разрушающего слоя.
2.16. При вращении приборного столика, а также при его перемещении во всем рабочем диапазоне расфокусировка микроскопа не допускается.
2.17. Чувствительность усилителя должна быть не хуже 100 мкВ на всю шкалу.
2.18. Усилитель должен быть настроен на частоту механического модулятора не хуже ±1%.
2.19. Полоса пропускания усилителя, измеренная на уровне 0,7, должна лежать в диапазоне 20—30 Гц.
2.20. Максимальный уровень шумов усилителя три открытом входе не должен превышать одного деления шкалы микроамперметра.
2.21. Микроскоп должен быть устойчив к нагреванию до температуры 45°С. В результате нагрева не допускается расклейка оптических деталей, вытекание клеящего вещества, смазки и замазки, отставание лака, отпотевание внутренних деталей и порча наружной отделки микроскопа.
2.22. Штрихи нониуса (указатель) должны перекрывать штрихи шкалы и при их совмещении составлять одну линию. При совпадении первого штриха нониуса со штрихом шкалы основания последний штрих нониуса должен совпадать с соответствующим штрихом этой шкалы.
2.23. Вращение лимбов должно быть плавным и легким.
2.24. Микроскоп должен быть работоспособен после транспортирования, а требования, указанные в пп. 2.2—2.23, должны сохраняться в пределах норм, указанных в этих пунктах.
2.25. Микроскоп рассчитан на 'эксплуатацию в условиях умеренного климата для категории размещения 4 по ГОСТ 15150—69.
3.1. Комплект состоит из:
) микроскопа;
) комплекта запасных частей и изделий согласно ведомости ЗИП.
3.2. К комплекту прилагается:
) техническое описание и инструкция по эксплуатации;
) формуляр;
) техническое описание и инструкция по эксплуатации оптического квантового генератора;
) краткое описание фотоаппарата типа «Зенит В».
4.1. Для проверки соответствия требованиям настоящего стандарта микроскопы должны подвергаться приемо-сдаточным, периодическим и типовым испытаниям.
4.2. Приемо-сдаточным испытаниям на соответствие требованиям пп. 1.1, 1.2, 2.2—2.20, 2.22, 2.23 должен подвергаться каждый микроскоп.
4.3. Результаты приемо-сдаточных испытаний считают удовлетворительными, если микроскопы соответствуют требованиям настоящего стандарта. Если в процессе приемо-сдаточных испытаний обнаружено несоответствие микроскопа требованиям хотя бы одного из пунктов, по которым проводились испытания, микроскоп возвращают для устранения дефектов, после чего вновь пред ставляют на контроль.
4.4. Периодические испытания проводят не реже одного раза в год. Испытаниям на соответствие требованиям пп. 2.21, 2.24 подвергают не менее одного микроскопа из прошедших приемо-сдаточные испытания.
4.5. На стадии изготовления установочной партии, а также при изменении конструкции, технологии изготовления или замене материала проводят типовые испытания на соответствие требованиям пп. 2.2—2.24.
5.1. Испытания проводят в нормальных климатических условиях по ГОСТ 15150—69.
5.2. Соответствие микроскопов требованиям пп. 2.1—2.3 проверяют сравнением с технической документацией и измерением любыми измерительными средствами, обеспечивающими точность, требуемую технической документацией.
5.3. Проверку габаритных размеров (п. 1.2) и массы (пп. 14, 15 таблицы) производят измерением с точностью до 10 мм и взвешиванием с точностью до 1 кг.
5.4. Проверку соответствия диапазона измерения толщины пленок (п. 1 таблицы) производят по эталонному образцу (кремниевая пластина, покрытая двуокисью кремния с толщиной пленки, лежащей в диапазоне 500—2000 А). Нижний предел измерения толщины определяется инструментальной погрешностью микроскопа.
5.5. Проверку цены деления отсчетных лимбов, величины отсчета по нониусу, погрешности показаний, цены деления основного угломера (пп. 2—4 и 7—9 таблицы) производят при помощи оптической делительной головки ОДГ-ЗО-Э в процессе изготовления деталей.
5.6. Проверку пределов перемещения приборного столика (п. 5 таблицы) производят при помощи индикатора ИЧ 10 кл1 ГОСТ 577—68.
5.7. Проверку диапазона изменения угла падения луча (п. & таблицы) производят визуально по основному угломеру.
5.8. Проверку минимальных размеров контролируемого окна (п. 10 таблицы) производят при помощи эталонной кремниевой пластины с нанесенной окисной пленкой (БіОг) в пределах 500—2000А и вытравленными окнами размером (5±2)Х(30±5) мкм.
5.9. Проверку индикации минимума (п. 11 таблицы) производят следующим образом. Устанавливают угол падения луча равным 45 или 70°. На столике фокусировки размещают кремниевую пластину, обработанную до 14-го класса чистоты. При фотоэлек
трическом способе, выведя зеркало до упора и регулируя интенсивность освещенности, добиваются получения максимального сигнала на индикаторе. Устанавливают компенсатор в положение «45°» или «315°». Попеременным вращением барабанов поля
ризатора и анализатора убеждаются в возможности получения минимального сигнала на индикаторе. При визуальном способе
ставят зеркало на пути отраженного луча и убеждаются в наличии отраженного луча, наблюдая в визуальный тубус или фотоаппарат через светофильтр. Попеременным вращением барабанов
поляризатора и анализатора убеждаются в наличии минимальной световой интенсивности в отраженном луче или его погасании.
5.10. Проверку регистрации эллипсометрического изображения (п. 12 таблицы) производят следующим образом. Устанавливают угол падения луча равным 45°. Ввертывают в плечо анализатора объектив. Устанавливают компенсатор в положение «45°» или «315°». Устанавливают на столик фокусировки кремниевую пластину, обработанную до 14-го класса чистоты. Устанавливают фотоаппарат типа «Зенит В» (без объектива) на его посадочное место. Регулируя положение столика фокусировки, получают отраженный луч на экране видоискателя фотоаппарата типа «Зенит В». Вращением гайки механизма фокусировки тубуса анализатора получают резкое изображение поверхности. Убеждаются,
что интенсивность свечения поверхности меняется при попеременном вращении барабанов поляризатора и анализатора. Наличие резкого изображения на экране видоискателя фотоаппарата обеспечивает получение такого же изображения на ф
