ОСТ 92-1483-79
Download document
.docx format · available to registered users
Г-
■Ддя-сдужебясте -ноль о спелля
Эко л Jfr- ®
Технические требования
И ТИПОВОЙ технологический процесс V
ОСТ 92-1483-79
Всего страниц ?^7
Издание официальное
1980
УЖ 621.793:539.538:621.9.02 (С83.74) Группа В06
Технические требования и типовой технологический процесс
Прта впадения 01.10.80
Настоящий стандарт распространяется на износостойкие покрытия типа нитридов, карбидов, окислов и других соединений, наносимых в вакууме методом реактивного магнетронного и Электроннолучевого плазменного осаждения.
Стандарт устанавливает технические требования к покрытию, типовой технологический процесс, правила приемки, методы контроля и требования безопасности.
@ Зам.изв.922.1461.5-88
Издание официальное Перепечатка воспрещена
^^■доыдаада
г Ш32=ШЗ=ЩХЪ2&.
Х,5. Обозначение покрытия в документах на инструмент следует производить в соответствии с настоящим стандартом.
Пример. "Покрытие вакуумное износостойкое толщиной 5 мкм
нитрид титана” - имеет условное обозначение "ПВИ 5 нитрид титана".
1.6. Нанесение износостойких покрытий. контроль■:» приёыиа да •
: р '■ ища характеристики васокотвержых износостойких покрытжй приведены % табл.2.
Таблица 2
Стр. 4 OCT 92-1483-79
Продолжение табл.2
Наименование показателя
Вид ПОКРЫТИЯ
Нитрид титана
Окись хрома
■■■■ '
, Зила пусто го » (-еоломеннорд) цвета
с цветами побежалости до синего (фиолетового) цвета
2.4. Покрытия должны быть сплошными, не иметь царапин,
рисок и других механических повреждений и быть в соответствии
д.зог-Увм
с ГОСТ • 3002*70 и р -ОСТ 92 1167 78» г
1.5. Качество рабочей поверхности инструмента перед нане- сением вакуумных покрытий должно соответствовать ГОСТ ЗООП-У^
с ОСТ 92-1467-78 с учетом следующих требований:
шероховатость поверхности инструмента перед нанесением вакуумного износостойкого покрытия не должна контролироваться и должна соответствовать состоянию поставки или заточки инструмента;
на рабочей поверхности инструмента не должны оставаться следы окалины или оксидирования; не допускается шаржирование абразивами покрываемой поверхности.
Примечание. Допускается контроль шероховатости поверхности до и после напыления особоточного инструмента.
3.1. При нанесении износостойких покрытий на участке напыления могут иметь следующие опасные и вредные факторы:
высокое выше 1000 В напряжение;
запыленность помещения;
испарения бензина, ацетона и спирта.
3.2. Источником запыленности помещения является пыль наносимых соединений возникающая при чистке вакуумной камеры.
.Источником паров бензина, ацетона и спирта является их испарение во время операций подготовки поверхности инструмен-
OCT 92-1483-79 Стр. 5
та и протирки внутренней поверхности вакуумной камеры и оснастки..
,88 '
ГОСТ 12.1.005-7$ устанавливает следующие предельно-допусти
мые концентрации (ЦЦК) вредных веществ:
окись хрома (пыль) - I мг/м3;
бензин (пары) - 300 мг/м3;
ацетон (пары) - 200 мг/м3;
спирт (пары) - 1000 мг/м3
3.3. Технологический процесс нанесения износостойких вакуумных покрытий относится к хруппе производственных процессов 2,09,04-8?
1-6 по СП и П -ІІ-92-7Є;
Работы по подготовке поверхности инструмента, вакуумной каме- СНиП2О9О2-85‘
ры и оснастки относятся к категории В почЗНи й II М.2- 72т~
Производственные помещения для этих работ относятся к категории без повышенной опасности.
3.4. Работать на установке типа ЭПН разрешается при наличии не менее двух лиц в смену.
3.5. К работе на установках типа ЭПН допускаются лица не моложе 18 лет, прошедшие медицинское освидетельствование и обучение в соответствии с ’’Положением”, имеющие НЕ при работе на электроустановках с напряжением выше прошедшие обучение на соответствующем оборудовании сеиия покрытий.
3.6. Помещение, где находится установка типа ЭПН, должно быть оборудовано приточно-вытяжной вентиляцией, обеспечивающей полуторо-двухкратный обмен воздуха.
3.7. Для предупреждения электротравматизма при работе на установках типа ЭПН необходимо предусматривать:
заземление оборудования; .
блокировку, исключающую проведение работ по очистке оснаст-
Сто. 6 ОСТ 92-1483-79
ки и внутренней поверхности вакуумной камеры установки под напряжением;
ограждение токоведущих частей.
3.8. Для предупреждения возникновения очагов пожара’следует руководствоваться "Типовыми правилами противопожарной безо- . пасности для промышленных предприятий" ("Общие положения").
Кроме того, следует соблюдать следующие требования:
(спирт, ацетон, бензин и т.д.) в вытяжном шкафу (кроме очистки внутренних поверхностей вакуумной камеры и оснастки) или на . промывочном участке. При работе с ДВЕ на рабочих местах не должно быть источников нагрева;
текущий запас ДВЕ в цеховой кладовой не должен превышать суточной потребности, определенной отделом главного технолога и Согласованной с органами пожарного надзора;
хранить ДВЕ в спецтаре, имеющей плотно закрывающиеся крыш- : ки и этикетки с четкими названиями ДВЕ;
иметь на рабочих местах углекислотный огнетушитель (ОУ).
3.9. Потолок помещения должен быть окрашен масляной краской, покрытия стен и полов делаются по возможности сплошными. Количество швов должно быть минимальным.
3.10. Материалы, применяемые для внутренней отделки помещения, должны быть:
стойкими к эрозии и разрушению от механических воздействий; легко очищающимися от пыли и грязи;
стойкими к воздействию воды.
3.11. Влажную уборку помещения следует производить не « реже одного раза в день.
3.12. Работающие должны быть обеспечены спецодеждой и средствами индивидуальной защиты в соответствии с действующими нормами (п.3.13, настоящего^ стандарта).
- , ■ OCT-92-1483-79 Стр, 7
3.13. Загрузка и выгрузка инструмента из вакуумной камеры должны производиться в хлопчатобумажных чистых перчатках по ГОСТ 5007-87, в белых халатах по ГОСТ 12.4.131-83 и ГОСТ 12.4.132-83
3.14. При операциях обезжиривания следует использовать перчатки резиновые кислотощелочестойкие по ГОСТ 20010-74.
3.15. Операции по подготовке поверхности инструмента к покрытию необходимо производить в отдельном от вакуумной установки помещении или в вытяжном шкафу.
3.16. Для визуального наблюдения за процессом вакуумного напыления необходимо использовать светофильтр.
3.17. При очистке внутренней поверхности камеры необходимо работать в спецодежде с использованием индивидуальной защиты респиратор ШБ-І ’’Лепесток'’ по ГОСТ 12.4.028-76 или У 2К по ТУ 6-16-2267-78.
3.18. Для работающих на установках типа ЗПН и МИР на предприятии должна быть разработана инструкция по технике безопасности.
4. Схема типового технологического процесса.
4.1. Подготовка исходных материалов и инструментов перед нанесением покрытий.
4.1.1. Для нанесения вакуумных износостойких покрытий применять: титан марки ВП-0, ВЛ-00 диаметром от 18 до 20 мм, лист толщиной от 2 до 20 мм по ОСТ 1-92020-82, 1У 1-5-093-77.
ГОСТ 22178-76 и ГОСТ 23755-79;
хром марки ВХ-І пруток диаметром от 25 до 35 мм по ТУ 1-9-852-74 и ТУІ-9-І04-86;
азот газообразный марки "Высший сорт" или "Первый сорт" по ГОСТ 9293-74;
кислород газообразный марки "Технический кислород" или "Первый сорт" по ГОСТ 5583-78.
аргон газообразный марки "Высший сорт", "Первый сорт" по ГОСТ 10157-79.
5 Зам.изв.922.Ї46І.5-88
— AJ
мнвешс указана в чертежной дакуметтепжж ви распните» установи),
ГОСТ П68О-76 аючзннсй беявжасм БР-І ’Гадова" по ГОСТ 443-76 жив ацвтека* по ГОСТ 2603-79 в обевводжть втвлоган ректи^яхавав-
4JL.3. ВвреяиЕЬ храп ва ааготавжж вясотож 40 мм к диаметром
gHiasahsa. .,,cxp>aa .
Продолжение табл. 3-
Наименование параметра
Норма
Дополни те льные^указаягя^
Диаметр сопла, мм
>4^32^0
струи идюь^ении твердости и>бр«^атываемого материала
Наибольший срок службы у сопла, изготовленного из титана
4.1.9. После пескоструйной обработки необходимо производить 100%-ный контроль инструмента, обрабатываемого поштучно. Поверхность инструмента должна быть равномерно матовой. Контроль сле-
дует производить визуально.
Примечание. Весь инструмент после пескоструйной обработки должен быть подвергнут заточке.
4.1.10. Ультразвуковую очистку инструмента пер^д напылением следует производить в соответствии с ОСТ 92-П18-’78е
4.1.11. После ультразвуковой очистки инструмент следует
1 осушить спиртом этиловым ректификованным Снормы расхода спирта ЦРЧл. наг
■устанавливаются по ОСТ 92-0281-73) -ми смесями на основе звдодо-
ттпиТТЯ-по ТУ 6-02 601 76, утглппптшми в табл»4.
4.1.12. Для обеспечения надежной прочности сцепления износостойких покрытий с основой следует до минимума сократить разрыв во времени между операциями ультразвуковой очистки и загрузкой в камеру по п.1.4.
Допускается перерыв до 24 ч при условии хранения инструмента после очистки в емкостях, исключающих загрязнения их
/ OCT 93-1433=23 Jfog. ‘
поверхностей ж содержащих сорбента для поглощенжя влаги (сжлж- кагель по ГОСТ 3956-76). .
4.2. Оборудование для нанесения износостойких покрити* ж его подготовка ж жронадмиж технолотичесжого прсадвсса.
' 4.2Д. Для ваяеоешпг іоносостойких вакуумних покрытий следует применять вакуумшмвлектроанолучевые плазменные уставании типа ШН (авт. свидетельства *300079, *378119 Б.И. *1.19.75) и типа МИР (реоенже о выдаче по заявке *3262224/18-21 от 28.12.82).
4.2.2. Основные технические характеристики установок приведена в табл. 5.
Таблица 5
Недйсенсъаняэ параметра
Установки
’Г—
аш-х
SQH—3 -
ИР-1 '
Рабочее пространство ^намерен '•'..давметр, ш
600
1200
500
800 .
м
V ДЛИЪА * і ил к н чвотж> '
/<МГ ■ .
игсота, и< : ;■ ;\ л '_
odWM^ М3 ■■ .;;-J
Йшремевав, Пж (mi pr.ot.j
650
0,2
1500
1060* 0,4 •
Число оборотов вала, (Г^ • (об/шн)
‘ ■■■ ’■.■■" 7
А| •! < ’
і ; . '
(30):
V60v4 ...1/3 г)(х,*.зо:
*Л5
(16)
Максюаальвая температура нагрева, X (^С)
Напряжвшю на аноде, В
ж
' > . ■ ■
,873 (600)
1500
1073, (800)
1000
1073, (800)
1000
Установленная мощность, й
