ОСТ 92-4675-2000
Скачать документ
Формат .docx · доступно зарегистрированным пользователям
МИКРОСБбРКЙ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫЕ
Типовые технологические процессы
изготовления трафаретов .
Всего страниц > 84
Предисловие
Кї РАЗРАБОТАН
точных приборов
Научно-исследовательским институтом
Ц
НДС, утвержденных во II
К5С ФГУП "ЦНИИ машиностроения" Информационным указателем отраслевых квартале 2000 г.
ОСТ ■ 92-4675-85
в ЦКБС р ФГУП "ГЩШ машиностроения
"
Ї:
Л’
■■ Содержание
І Область применения ........ . ././?.">,>, I
2 Нормативные ссылки » . . . ♦ . .'. . ’• ♦ ♦ ♦ ♦ . . , . . I г г
г 3 ..Технические требования , .'U >■:,.л":./". /Ч/5
4 Требования безоп - >• -v*- • '
. 5 Типовые технологические процессы /:: \. . . ♦ . . -? .6
6 Методы контроля . ♦ • , . > ., •
Таблица I Типовой технологический процесс изготовления сетчатых трафаретов на основе пигментной, бумаги « ,<. S
Таблица •' 2 -Типовой тэхнологический процесс иззготовления ;:;.
сетчатых трафаретов с использованием пленочного : фоторезиста ФП-І . ♦ ♦ . .<
< Таблица 3 Типовой технологический процесс изготовления; < сетчатых трафаретов с использованием фотополи- 7.
- мерной. композиции ’’Полисет" » ’• . . •
Т
43
аблица 4 Типовой технологический процесс изготовления ■. биметаллических- прецизионных:трафаретов из ■ -2-^ бериллиевой бронзы БРБ-2 4 ♦
<
57
Таблица 5 Типовой технологический процесс; изготовления комбинированных трафаретов для нанесения . стеклоприпойной пасты .
П
66
риложение А. Материалы, применяемые при изготовлении Л трафаретов ' ■ ' • >:>, . . ♦ •. •; '•'*
Приложение Б Оборудование, применяемое при изготовлении / трафаретов Z-- ///■;. " •/>-; у:/
П
69
риложение Б Приспособления, инструмент и контролъно-измери ;; тельная аппаратура, применяемые при изготовле- ; нии трафаретов . , ■. • ♦ \ ■»/*
■
А'- f4 : • ' •/•'■'"• '>? Л-"Л: •’• •. \ '/'V ’> ' '•
■■ <■• • % • •••• • -с, ■ 'Е.’-'-А <•<. *• - •• ■ Л • '•••' '■••;•; /. •/...;•/ "• ..;> - • •
fc; ■■■ OCT 92-4675-2СОО Й
Приложение Г Область применения сетчатых, комбинированных се - ■ биметаллических трафаретов / . ■;<
Прилоаенйе Д Инструкции по приготовлению
'л?-.- - растворов ■ ■'. . • /• ♦ ■ • АЧс .-
71
72
^5 Приложение Е Фотополимеризующая композиция, применяющаясяпри изготовлении сетчатых трафаретов для
ОТ РАСЛ ЕВ 0 й С ТАН ДАР Т^47^’2;О'Ж-2^^2
Типовыетехнологические процессы изготовления трафаретов - /
ЖЖ4-& <;4■;':ЖЖ7?7.22 225 Дата введения 200І-0Ї-0І
■■‘22 І Область применения ; •• ’Ж. ' 2/Ж Ж 2'2 чОЖл ЖЖ:-.-Жл72:;7'Ж;
Настоящий стандарт распространяется на микросборки, соответствую-: щие ОСТ 92-4179-79» ОСТ 92-9436-81, ОСТ 92-9508-81 и устанавливает типовые технологические, процессы изготовления сетчатых и биметаллическихЖ трафаретов. /. ..■■■■ .. :/:у 7 <■; /. ;•■.2§2 ■
ЖЖ'Ж- 2 Нормативные ссылки '2 ЖЖ 2:2 7'2242../2:22‘
. ' В настоящем стандарте использованы ссылки на следующие документы: 2 2 2' /• ГОСТ 3-88 Перчатки хирургические резиновые. Технические условия '.
'2 у ГОСТ 177-88 Водорода перекись. Технические условия. ';' ' / Ж Ж72;
ГОСТ 1789-70 Полосы И ленты ИЗ бериллиевой бронзы. технические
. - ГОСТ 2603-79 ' Ацетон. Технические условия '■- ^ /Ж’ 2Ж -2 422
'ГОСТ 3118-77 Кислота соляная. Технические условия'■■■■.
ГОСТ 3647-30 Материалы шлифовальные. Классификация. Зернистесть и зерновой состав. Методы контроля \-/2 :/?;2б 2/ КЖ /Ж'' ?2222-22<B2V'
•.; ГОСТ 3763-76 ^/Аммоний двухромовокислый. Технические условия Ж2‘Ж'
• ГОСТ 3776-78 Хрома (УІ). окись. Технические условия (реактивы) Жб.
■ ГОСТ 4204-77 Кислота серная. Технические условия ' . '' . ' 2;
/■'/ 2 ГОСТ 5972-77 Порошок зубной. Технические условия'■ .V ’ 22..' .
'ГОСТ 6456-82 /'Шкурка: шлифовальная бу манная. Технические условия Ж; /■'' 4 ■ 4.2'ГОСТ 6709-72 • Вода дистиллированная ,2і* - ■ ■■■ / 4■ • •>" .
/кЖЖгОСТ. 6867-77 Смачиватель НБ. Технические условия '4. ■ 7-' -Ж\?.
: 'ГОСТ 7313-75 Эмали ХВ-785 различных цветов и лак ХВ-784 4 .
^22У-ЩМ7':Й®22Ж9і/М 7ЖЖЖ7Ж 1ЖЙЖЙ ( . *, • : • ’ .-•* j..*' і г'. •' ' l ‘ s ' » ' ..’ ••7\, s’ ?.’•*% '. 's* I J'/* •* ґ г • s’ 4 <*. ' і4. f ”’’Г:
' • 2 1' - s\'. •■•.•. ~ /' 2- ai ■• '• ■ r' ■■ , ••. ■ Ч-". 2 ' ■. -. , - 2’ /'•'.• -9 ' ‘ v :2. 2'* <*.■’ 4
Уу':УУг/7 ! Уч?'^''^
f ' ГОСТ 7827-74 Растворители марок Р-4, Р.-4А, Р-5, Р-Ї2 для лакокра
сочных .материалов,. Технические условия дУдд УддУУУУ.<УУУуУ\.
... ГОСТ 8030-80 Иглы для шитья вручную. Технические условия
'ГОСТ 9070-75 Вискозиметры для определения условной вязкости ла- <
кркрасочных^материалов. Технические условия ~
С
у у* ГОЗГ10779-78 уГ0СТ;!П078-78 ■ 'ГОСТ; 12026-76 \ У; ‘ ” • . | . .. • . .
< условия J ? :< •ГОСТ!13646-68
пирт поливиниловый. Технические условия
Натр едкий очищенный. Технические условия Бумага фильтровальная, лабораторная. Технические
Термометры,стеклянное ртутные для точных измере
ний. Технические условия
Э
у.-;. • ГОСТ.; 14919-83
У ' • ГОСТ} 17435-72 у ..у • ГОСТ; 18303-87 Технические условия 'у ' • ГОСТ; 21179-90
лектроплитки .бытовые. Технические условия , Лінієйки чертелщые мерительные • ;:У';У'й^ Спирт этиловый ректификованный технический.:'.
Роек пчелиный. Технические условия • У :’< д Кислота щавелевая. Технические условия ■ ..у Посуда и оборудование лабораторные стеклянные.
Общие технические требования-. уду.ЇМУ
\у... 'у ГОСЇ 24234-80 Пленка полиэтилентерефталатная. Технические ■
‘ УСЛОВИЯ . ; р. у- ■■'■■':-й?у.^
ууд Г'Л^ ГОСТ 25178-82 Электросушители для рук. Общие технические
: условия •( у. Уд у.-/; Й;--ЙУ' дХ:‘-У.:^.;'; уйу,- .у ■/■■■УуУ ..гу-хууу^
'ГОСТ 25644-96 Средства моющие синтетические порошкообразные.
Технические уСЛОВИЯ''Й.\-:-:..с;.у^^
ГОСТ 25743-83 Шкафы вытяжные радиохжлические. Типы, основные
параметры! и размеры . . ; • у
у * ГОСТ 29298-92 Ткани хлопчатобумажные смешанные бытовые. Общие Технические требования . у'. ■ У •• 'Х-йййУуйУ' .у..
У 7Уя<^ ГОСТ Р 51232-98 Вода, питьевая У
\ ОСТ' 92-0948-74 Клеи. Выбор и назначение. Технические требования
X ’XX< /^ 92-4675-2000 L-^iX^XSSW
; -OCT 92-1701-99■ Микросборкг тонкопленочные. Типовой технологический процесс изготовления биметаллических прецизионных масок .
■ « ' , * ' г * S ■■ .. << ' <И.' Г • ■’ ? • Л •• ч- . 'Ч " ' ‘ ‘ ’ ' ' > ’ • • •'. * * ■ V* ■ '
;ХХХг ‘ОСТ 92—3888—85 Ножницы монтажные. Конструкция и размеры. Технические требования Х'ХХ-Х VX . •
«ОСТ 92-3889-85 Нож монтажный. Конструкция и размеры. Техничес
кие требования. • .■Х;:ХХ/х;-.'.Х ■■■;;<ХХ<г:..,.';';-Х!;7;'ХХ:
■ < -OCT 92-3890-85 Пинцеты монтажные. Конструкция и размеры. Технические требования •?<<••• . ' о■?■:-. : Х78ХХ:;';. XXX; ■■■■;?•'<Х/:.:7.<ХХХ
•ОСТ 92-4179-79 Микросборки гибридные толстопленочные. Техноло- •7- гические нормы при конструировании . -Х\'7: Х<-лХХ.;7 ;ХХй?
: \ Л' ■. -ОСТ 92-4673-85 Микросборки толстопленочные. Общие технические ■'1. 'I--.' • ' .'.г.,,,', і . , ъ 1.ь . - - • ЇЙ1 . J , у .
требования и требования безопасности к типовым технологическим процессам изготовления .
< ■■■ / ...•; ; ‘ ОСТ 92-8605-2000 Помещения производственные для изготовления ’ / Ї. микроэлектронных изделий' и печатных плат.- Общие требования ,
' ї л.Г ; ОСТ 92-9436-81 Микросборки гибридные толстолленочные. Базовая конструкция и размеры
’ ОСТ 92-9508-81 Микрооборки гибридные толе тог. ле ночные. Общие . технические условия • .... " 'ґ?'- .
~ ; ■ -ТУ 3-3.1210-78 Микроскопы бинокулярные стереоскопические МБС ..:
г/X- -ТУ 6-09-945-86 Индикатор метиловый фиолетовый (метилвиолет) .
ч.д.а ■■.•X' л;;Х ''Х'._ Xv:.х'<>;'/'хх.Х' 1.Х- :SxfW
.-ТУ 6-09—II8I-89 Бумага индикаторная универсальная для определения pH 1-10 и pH 7-14 X : Л. ;.VX. ■■'.
ТУ 6-I0-I293-78 Нитроклей'АМО^
ЙХХ-<ХХ:Х ТУ 6-I4-3I9-8I Фотоинициатор УФ-отверждения •
X< ТУ 6-14-577-77 ■' Синтанол ДС-ІО. Технические условия •У.’ХЙЙх??’: УХХ: X/--- ТУ 6-19-37-038-88 Кювета фотографическая X ■ X.-х -X.
■ XТУ 6-І7-І2І5-88 . Фоторезист пленочной ФП ' ■ хХ‘ Х\;:-• \ \ ; \Х
> : ’. ./•>' ТУ 6-23-15-89 Краскораспылитель пневматический ручной'7 ’. ‘ •• •
> ; ;х.;ґ' ХШОй
- І - .І-?;." '<■ '■'■ ><■ ' "і.?’...Л: л’-''. -?.■:■■ ■ ■* ' '
. /. . ЇУ 6-55-43-90 : Пенополиуретан эластичный ■■■■. - . :<Й
■<*.Чч.,,'ф-,фХ.- ...•/’ l * > . ' , - г г| • л І - ьfґг ' ’ і • • л * z ' « * • г'*. • ч ’’г • ...і . . Ч - . S 1 . 4 \ .J’,
ТУ IIА2 JZO.238,001«ТУ-8І Столы монтажные. Технические условия
■'ff!; ТУ 14-4-507-74 Сетка тканая с квадратными ячейками микронных размеров ; р; -
■ ТУ 17-15-07-89 Кисти художественные и для клеения <;<v.
. . ' — МРТУ Ї8-ЗІЗ-69 Композиция фо тополям ери зуюшаяся для оперативной
; технологии изготовления трафаретных форм "Полисет”
Si S > йУУ 25^07-1268-77 Часы сигнальные ■З'р?
I, /< I? ТУ 25-1894.003-90 Секундомер механический С-ІІ. Технические
; . ТУ 29-01-06-83 Бумага штлентная. Технические условия ,
;, . 'ТУ 38.401-67-108-92 Нефрасы. Технические условия ;
. Л ТУ 64-І-І4ІІ-8І Шкафы сушильные электрические круглые 2В-І5І
■■>■ >'/■'j ■■\:?:-- 3 Технические требования Tf. '^'■■■^. Н-;;-' '-Ш ■'.
;;; '-‘^хВ 3.1 Общие технические требования - по ОСТ 924673 ... .
Трафареты, изготовленные по типовым технологическим процес- . сам, должны соответствовать требованиям настоящего стандарта и кон- <;■ структорской документации на микросборку •
• Работы по изготовлению я хранению сетчатых и биметаллических '.трафаретов следует выполнять в помещении третьего класса чистоты и .второй категории по микроклимату согласно ОСТ 92-8605 . • . ;
Сетка трафарета не должна иметь вмятин, заломов, перекосов, : обрывов нитей. Ячейки сетки не должны быть загрязнены в рабочей части ; трафарета ;
Срок хранения трафаретов от обезжиривания сетки до нанесения светочувствительного материала - не более 24
Трафарет не должен иметь отслоений, по
