ГОСТ Стандарт

ГОСТ 26239.8-84

Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

391 views

Download document

.docx format · available to registered users

Sign in and download

Document text

Semiconductor silicon and raw materialsfor its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilaneand silicon tetrachloride determination
1. 1.1. 2.

3. 3.1. 3.2. •100,
3.3.

V QsiHCb * 5 SiCl 4
AsihCi 3 SsiHCig, — AsiHeCb—l— 2 (1 ---As 3.4. 4. 5. 5.1.

5.2.
5.3.

(