Охорона праці
ГОСТ Стандарт

ГОСТ 26239.8-84

Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

392 просмотров
Сохранить

Скачать документ

Формат .docx · доступно зарегистрированным пользователям

Войти и скачать

Текст документа

Semiconductor silicon and raw materialsfor its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilaneand silicon tetrachloride determination
1. 1.1. 2.

3. 3.1. 3.2. •100,
3.3.

V QsiHCb * 5 SiCl 4
AsihCi 3 SsiHCig, — AsiHeCb—l— 2 (1 ---As 3.4. 4. 5. 5.1.

5.2.
5.3.

(

Похожие документы

ГОСТ 22558-89 Язык программирования КОБОЛ ГОСТ 4401-81 Атмосфера стандартная. Параметры ГОСТ 17381-84 Калибры для упорной резьбы. Исполнительные размеры ГОСТ 5306-83 Пиломатериалы и заготовки. Таблицы объемов ГОСТ 25158-82 Протяжки для шлицевых отверстий с эвольвентным профилем диаметром от 15 до 9О мм модулем от 1 до 2,5 мм с центрированием по наружному диаметру. Конструкция и размеры ГОСТ 27831-88 Язык программирования АДА ГОСТ 34.913.4-91 Информационная технология. Локальные вычислительные сети. Метод маркерного доступа к шине и спецификация физического уровня ГОСТ 16350-80 Районирование и статистические параметры климатических факторов для технических целей